工作原理是通過空氣樣品以恒定的流速進(jìn)入儀器的氣路系統(tǒng)時(shí)，樣品空氣交替地或直接進(jìn)入吸收池或經(jīng)過臭氧滌除器再進(jìn)入吸收池，此時(shí)臭氧對(duì)254nm波長的紫外光有特征吸收。
當(dāng)零空氣樣品通過吸收池時(shí)被光度檢測(cè)器測(cè)定的光強(qiáng)度為10；那么含臭氧的空氣樣品通過吸收池時(shí)，被光度檢測(cè)器測(cè)定的光強(qiáng)度為I。如此每經(jīng)過一個(gè)循環(huán)周期，儀器的數(shù)據(jù)處理系統(tǒng)根據(jù)朗伯-比爾定律求出臭的濃度。
檢測(cè)臭氧濃度的方法：
臭氧氧化可變色試劑浸漬在載體上作為反應(yīng)劑封裝內(nèi)徑的玻璃管內(nèi)做成檢測(cè)管，使用時(shí)將檢測(cè)管兩端切斷，把抽氣器接到檢測(cè)管出氣端吸取定量臭氧氣體，臭氧濃度與檢測(cè)管內(nèi)反應(yīng)劑柱變色長度成正比，通過刻度值讀取濃度值。
在線臭氧濃度監(jiān)測(cè)儀較早應(yīng)用的是電位測(cè)量，即利用氧化還原復(fù)合電極通過檢測(cè)水中氧化還原電位變化而對(duì)應(yīng)計(jì)算出溶解臭氧濃度。專用裝置內(nèi)部分析運(yùn)算處理直接數(shù)字顯示，只使用Redo電極可先檢測(cè)水的電位，再通過曲線查出對(duì)應(yīng)的臭氧濃度。
在線臭氧濃度監(jiān)測(cè)儀主要是用于臭氧制備車間（臭氧發(fā)生器、臭氧廠房等）、化工、石油、造紙、紡織、制藥和香精香料工業(yè)、水處理、食品醫(yī)藥滅菌車間等場合。
